區別：1、以至于：主要用作連接詞或短語，一般表示從小到大，從少到多，從淺到深，從低到高；以致于：多用于表示下文是上文所說的原因的結果。2、以至于：一直到，表示情況所達到的深度或結果；以致于：多指不希望出現的結果。
詞語造句
以至于
1、如此的在乎，以至于我們開始失去自我。
2、我太高興了，以至于情不自禁地微笑著。
3、皆為樹置失宜,不預為節制,以至于滅亡。
4、他極度心不在焉，以至于兩天沒吃東西。
5、由于時間倉促，以至于我不能做好充分的準備。
以致于
1、她為了工作忙得不可開交，以致于沒時間做別的事。
2、由于風氣不正，章法不嚴，以致于百弊叢生，再不下決心抓一抓是不行的。
3、我的工作非常緊張，以致于我沒有時間休息。
4、黑洞的引力場是如此強大以致于即使是光都無法逃逸出去。
5、這種變化如此迅速，如此普遍，以致于不可能簡單地解釋清楚。
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